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SEMI E87-0726 (technical revision)
これは，パッケージのリード間容量および負荷容量を測定する装置，材質，およびその手法に関するものである。図示の半導体パッケージは一例として示したものであり，他のパッケージの場合もこの方法を用いて測定することが可能である。
1 This Standard specifies a SAN communications standard based on the EtherCAT specification that is in compliance with SEMI E54
org中取得，同時在2005年3月出版。
本文書は
E14200 - SEMI E142 - Specification for Substrate Mapping StdVol-Facilities SEMI E87-0726 (technical revision)1 Purpose 1. 1 This Specification defines the data items that are required to report, store, and transmit map data for substrates such as wafers, frames, strips, and trays. 2 Scope 2. 1 This version of the Specification applies to the substrate types: wafers, frames, strips, and trays. 2. 2 This Specification addresses assembly and packaging including the testing of semiconductor devices. Subordinate Standards (included) SEMI E142. 1 Specification for
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